教育活動

大学院：プラズマ材料物性工学特論、材料プロセッシング工学工学部：マテリアル統計力学、マテリアルプロセス診断学、マテリアル自由研究　など

研究活動

　固体、液体、気体に続く第４の物質状態―“プラズマ”。プラズマのもつ各種の特異物性を利用した、先端半導体デバイスやバイオマテリアルの創製、プラズマテレビ、汚染大気・土壌クリーン化処理、プラズマ宇宙ロケットエンジン開発など、多くの基盤科学技術分野での応用が、21世紀の産業・社会・地球環境を支える先端的な基盤プロセスツールとして、全世界で精力的に研究が進められています。 私の研究室では、この“プラズマ”と“物質・材料科学”の接点の材料科学・技術―“プラズマ材料科学”の研究を基礎・応用の両面から行っています。 特に、21世紀のプラズマ科学のニューフロンテイアー超微小空間（マイクロ／ナノスペース）における新しいプラズマ材料科学を世界に先駆けて提案／推進しており、その創生を研究室の究極のミッションとしています。 世界に類を見ない当研究室で開発した、1)半導体超微細加工技術. および、2)ピエゾアクチュエーター技術. を駆使した、超微小スケール（マイクロスケール、ナノスペース領域）のプラズマの創製法の確立を進めるとともに、その構造、物性について各種分光法、プローブ法、計算機シミュレーション法を駆使してその解明を目指しています。 1998年4月にスタートした当研究室ではありますが、基礎・応用の両面から世界的評価を受けており、生まれたばかりの我々のこの基礎研究に対して、""Plasma Chemistry Prize""がIUPAC ( International Union of Pure & Applied Chemistry )よりおくられました。

文献

1989年　本多記念研究奨励賞
1992年　日本金属学会奨励賞
1999年　PLASMA CHEMISTRY PRIZE
2005年　プラズマ材料科学賞

[日本語解説レビュー]
1） プラズマ・核融合学会誌　　第76巻・第5号(2000)471
2） 応用物理学会誌　　第70巻・第４号(2001)141
3） エレクトロニクス実装学会誌　第5巻・第６号(2002)529

その他

応用物理学会　プラズマエレクトロニクス分科会幹事
日本学術振興会　第153（プラズマ材料科学）委員会委員
日本物理学会、日本放射光学会　などに所属
APCPST (Asia-Pacific Conference on Plasma Science & Technology)96 (1996) などの組織委員

将来計画

本研究室が、世界に先駆けて提案、研究を進めています“超微小空間（マイクロ／ナノスペース）における新しいプラズマ材料科学”の確立を目指していきます。
　微小スケールのプラズマという新たな物質状態の誕生は、量子プラズマ、低次元プラズマ、超臨界流体プラズマなどといった物質科学の新たな基礎概念を産み出します。さらにまた、これら基礎科学成果の社会への還元として、表面、液晶、クラスターなどの新しい物質相が新たな産業を創出したように、２１世紀の新たな産業の創出、そして、社会、文化、地球環境を創り出します。
　公的研究機関や産業界などとの連携も進め、基礎および応用的な観点から以下のような研究を総合的に進めていきます。

1)高集積積プラズマプロセス装置（プラズマパネル、プラズマチップ）の開発とその高効率プロセス研究への応用。
2)プラズマエバネッセント分光法、および、プラズマ環境SPMによるプラズマー固体ナノ界面研究。
3)超臨界流体（クラスター流体）プラズマの生成、物性、および、材料デバイスプロセス応用。
4)プラズマファイバーの開発とバイオテクノロジーへの応用。
5)マイクロプラズマＣＶＤによる新ナノクラスター物質創製。
6)熱プラズマホットクラスター蒸着法の開発。

教員からのメッセージ

地球規模での環境問題・エネルギー問題、ＩＴ時代の新しい社会システムの構築、高齢化問題など、21世紀に我国が直面する緊急課題の解決にとって、ナノスケールサイエンス＆テクノロジー、バイオマテリアル技術などを通じて“物質・材料科学”はその基盤科学技術としての重要な役割を果たしていきます。さらにまた、これら複雑多岐な課題の解決に対して“知的野蛮人”として新たなフロンテイアを切り拓くことが可能な若い力が必要とされています。
　本研究科、物質系専攻は、正にそのような気概と能力に溢れた学生さん達の力で成り立っており、我々の研究室も“プラズマ材料科学”のニューフロンテイア-極微小空間（ナノスペース）プラズマ材料科学-の創生を通じて、その一翼を担っています。
　ご興味のある方は、寺嶋研究室のホームページを是非ご覧下さい。（http://terra.k.u-tokyo.ac.jp）

ホームページのURL

http://www.plasma.k.u-tokyo.ac.jp/