物質系専攻 女屋崇助教が応用物理学会シリコンテクノロジー分科会論文賞を受賞

物質系専攻 喜多研究室の女屋崇助教が、第15回(2023年度)応用物理学会シリコンテクノロジー分科会論文賞を受賞しました。また、授賞式及び受賞記念講演が2024年3月22日～25日に東京都市大学世田谷キャンパスで開催された2024年第71回応用物理学会春季学術講演会にて執り行われました。

論文名：”Wake-up-free properties and high fatigue resistance of Hf_xZr_1-xO₂-based metal-ferroelectric-semiconductor using top ZrO₂ nucleation layer at low thermal budget (300 °C)”, APL Materials vol. 10, pp. 051110-1-7 (2022).

著者：Takashi Onaya, Toshihide Nabatame, Mari Inoue, Tomomi Sawada, Hiroyuki Ota, and Yukinori Morita

なお本論文の内容は、国立研究開発法人物質・材料研究機構(NIMS)及び国立研究開発法人産業技術総合研究所(AIST)との共同研究の成果の一部です

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